高精度载板线宽线距测量机
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技术参数
Technical Specification
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仪器特点
Instrument Features
LTG762
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LTG762 |
测量范围(mm) |
X |
630 |
Y |
730 |
Z |
30(调焦用) |
工作台(mm) |
真空吸附台面 |
700x800 |
承重 |
25kg |
测量速度 |
MAX:300mm/s |
CCD |
高分辨率彩色工业级500万像素数字相机 |
影像及测量系统 |
视频放大倍率 |
全自动变倍100-1000X |
物方视场 |
2.6-0.1mm |
显示分辨率 |
0.0001mm |
重复性 |
±1µm(标准块) |
测量精度 |
XY轴±1.2µm (标准块) |
外形尺寸(mm) |
2010*1600*1780 |
仪器重量(kg) |
2150kg |
- 高精度工作台(带真空吸附台 ) 及大理石底座和立柱。
- 日本直线导轨和滚珠螺杆。配合高性能松下伺服马达全闭环控制,高稳定性、高精度。
- 高分辨率彩色工业级500万像素数字相机,保证拥有高 质量的测量画面,快速的测量速率。
- 可程控三环八区LED线顶冷光源,低角度LED线底冷光源。
- 进口开放式贴片光学尺 0.0001mm
- 自主研发功能强大的全自动LT-3D测量软件,可编程自动测量。
- 测量载板表面焊盘 金手指 线宽线距 线顶线底十字光标PAD等尺寸