白光全自动扫描仪

1.基座采用大理石（00级）材料，保证了极高的稳定性2.采用研磨级滚珠丝杠和精密线性导轨，配合松下高性能交流伺服全闭环控制，高精度，高速度，高稳定性。

LSC系列 白光全自动扫描测量机

		LSC540	LSC760	LSC870
测量范围(mm)	X	400	610	800
	Y	500	710	710
测量效率		有效行程:710*650(放置满多片板子) 测量数据量：测量一千个尺寸数据只需要20秒扫描时间：约15秒图像处理和数据计算时间：约5秒效率优势:运用了大数据运算功能，是目前行业内全世界测量效率最高的全尺寸测量机
测量精度（µm）		±（3.5+L/200）µm
重复性		±5µm
		适用厚度		0.01-15mm
		适用孔径、金手指、焊盘		0.1mm以上
		检测速度		50-150mm/s 可以调节
		孔位量测精度		±4µm
		孔径量测精度		±3µm
		缺陷检测精度(选配)		100µm以上缺陷可以检出
		孔位精度分析(选配)		CA、CP、CPK、靶图

		LSC540P	LSC760P	LSC870P
测量范围(mm)	X	400	650	800
	Y	500	710	710
测量效率		有效行程:710*650(放置满多片板子) 测量数据量:一千个尺寸范围扫描拼图+测量时间约为150秒；扫描拼接时间:约为130秒，图像处理和数据计算时间: 约20秒
测量精度（µm）		±（4+L/200）µm
重复性		±5µm
		适用厚度		0.01-15mm
		适用孔径、金手指、焊盘线宽		0.1mm以上
		检测速度		50-150mm/s 可以调节
		孔位量测精度		±4µm
		孔径量测精度		±3µm
		缺陷检测精度(选配)		100µm以上缺陷可以检出
		孔位精度分析(选配)		CA、CP、CPK、靶图
		Z轴测量 ( 选配 )		平面度高度深度厚度等